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2D MEMS探针卡

Jul,14,2026 << Return list

Q2D MEMS通用探针卡和传统悬臂式探针卡相比,在SI信号完整性、PI电源完整性上的优势具体体现在哪里?能否提供TDR时域反射 uniformity测试报告?
A:我们的2D MEMS通用探针卡采用自研工艺,将MEMS探针直接通过自动化激光焊接固定在MLC陶瓷基板上,去耦电容可安装至距离被测物最近的位置,大幅降低回路电感。全通道实现独立隔离,信号路径阻抗偏差控制在极小范围内,相比传统悬臂卡的走线离散性,SI信号完整性提升显著,最高可支持20GHz的高速信号测试场景,PI电源路径的IR Drop优化效果远优于传统悬臂结构。所有出货的2D MEMS探针卡,均可通过自有网络分析仪、TDR阻抗检测设备出具全通道TDR时域反射均一性出厂检测报告,完全匹配先进制程芯片的合规验证需求。

 

Q:适配CIS图像传感器的2D MEMS探针卡,最低支持的Pin对齐精度是多少?不同分辨率CIS芯片的探针排布规则是否支持定制?
A:我们的CIS专属2D MEMS探针卡采用低至60μm精度的全自动激光焊接工艺,对位精度可达±3μm,远高于行业通用水平,覆盖从800万像素消费级到亿级像素车载级全场景CIS芯片测试。所有探针排布规则支持全维度定制,可根据客户的CIS芯片PAD阵列、周边走线布局灵活调整探针位置,完全避开CIS芯片感光区域,杜绝扎针损伤影响成像效果。

 

Q:我司要测试90μm pitchHPC芯片,你们的2D MEMS探针卡对应哪款系列?能不能适配150℃高温测试场景?
A:针对90μm pitchHPC芯片,可选用我们的2D MEMS垂直探针卡MF90系列,适配70μm~120μm Pitch区间的高性能计算芯片,探针采用Pd/Co/Au合金材质,工作温度范围覆盖-40℃~125℃,针对150℃高温测试场景可提供定制化高温适配版本,满足功率类芯片的高温老化测试需求。

 

QCIS专属2D MEMS探针卡支持的最小Pitch是多少?30μm Pitch版本的探针厚度公差能否做到±1μm以内?
A:我们的CIS专属2D MEMS探针卡探针厚度为35μm,常规量产版本最小支持60μm Pitch,针对30μm超密Pitch需求可提供定制开发服务,定制版本的探针厚度公差可管控在±1μm以内,配合自研氮化硅导向板(SiN)实现15μm的窄壁间隙,彻底规避相邻探针短路风险,适配高端小像素CIS芯片的测试要求。

 

Q:同类型普通2D MEMS探针卡和带铑(Rh)针尖的版本,在使用寿命、接触电阻稳定性上的差异有多大?
A:我们标配的CIS专属探针卡采用铑(Rh)针尖材质,相比常规镀金版本,针尖耐磨性大幅提升,累计扎针寿命可达50万次以上,接触电阻长期稳定在极低水平,长期量产场景下探针卡维护更换频次降低60%,单卡全生命周期测试成本可下降40%

 

Q:适配RF芯片的2D MEMS探针卡,最高支持的测试频率是多少?单针最大允许通过电流能到多少安培?
A:我们的2D MEMS薄膜探针卡最高可支持40GHz的射频信号测试,适配5G/6G毫米波芯片的性能验证;2D MEMS刀片探针卡单针最大允许通过电流可达800mA,针对大功率测试场景可提供定制化版本,将单针电流承载能力提升至1A以上,匹配功率半导体的大电流测试需求。

 

Q2D MEMS通用探针卡的探针平均可循环接触多少次?长期量产使用后针尖磨损率能否控制在行业标准以下?
A:我们的2D MEMS垂直探针卡常规版本预估测试寿命可达80万次以上,CIS专属2D MEMS探针卡预估寿命可达50万次以上,长期量产使用后的针尖磨损率远低于行业10%的通用标准,大幅减少维护频次。其中Nand Flash/Dram专用2D MEMS探针卡最高可支持70000Pin的超高Pin数适配,完全覆盖存储芯片大规模并行测试需求。

 

Q2D MEMS CIS探针卡长期测试晶圆后,在芯片pad上留下的针痕最大深度是多少?是否会影响CIS芯片后续成像良率?
A:我们的CIS专属2D MEMS探针卡采用0.6~2.5gf的可控针压设计,OD下压60μm时的针压仅0.6~2.5gf,常规室温下最小可支持45μm×45μmPAD尺寸,在CIS芯片PAD上留下的针痕Mark尺寸仅9.4μm@80μm OD,针痕深度远低于PAD金属层厚度标准,长期测试的落尘量相比传统悬臂卡降低80%,完全不会损伤底层电路,不影响CIS芯片后续成像效果与封装良率。

 

Q2D MEMS探针卡的测试一致性表现如何?对比悬臂式CIS探针卡,扎针 touchdown效率能提升多少,能不能直接降低量产测试成本?
A:我们的2D MEMS探针卡全通道采用MEMS一体化光刻工艺制作,探针参数一致性远高于人工装配的传统悬臂卡,扎针touchdown效率从悬臂卡的95%提升至99.9%以上,单晶圆重测率下降80%,大幅减少人工维护时间与耗材损耗,单条量产测试线年均可节省20%以上的探针相关测试成本。

 

Q2D MEMS探针卡支持的最多并行测试DUT数量是多少?能否适配当前128通道以上的高并行量产需求?
A:我们面向存储芯片的2D MEMS探针卡最高支持70000Pin,面向Nand Flash产品最多可支持25000Pin,完全适配128通道、256通道甚至更高阶的高并行ATE测试需求,大幅提升晶圆测试吞吐量,缩短量产周期。

 

Q:你们的2D MEMS探针卡能不能直接对接我司现有Keysight/Teradyne系列ATE测试机?需不需要额外加装转接配件?
A:全系列2D MEMS探针卡原生适配市面绝大多数主流ATE平台,覆盖Advantest V93KT5830Teradyne J750Ultra FlexKeysight 407X/408X等国内外数十款主流测试设备,常规版本无需额外加装转接配件,1小时内即可完成产线对接调试,适配场景覆盖WAT测试、CP测试、老化测试全流程。

 

Q2D MEMS探针卡适配28nm以下先进制程、HBM存储芯片的测试需求吗?
A:我们的MEMS垂直探针卡2023年已实现量产并通过头部客户验证,其中MF70型号适配40μm~70μm Pitch区间,专为HBMGPU等先进3D IC封装芯片设计,支持最高20GHz的高速信号测试,目前已在国内多家头部存储、逻辑芯片厂商完成落地验证,覆盖28nm及以下先进制程芯片的测试需求。

 

Q:现有产线在用的传统悬臂探针卡替换成2D MEMS型号,是否需要改造现有测试治具?会不会拖慢现有量产节奏?
A:我们的2D MEMS探针卡采用行业通用标准接口,无需改造现有测试治具,仅需配合配套的对位校准流程完成15分钟调试即可直接上线,完全不影响现有量产节奏,支持传统悬臂卡到MEMS探针卡的无缝替换升级。

 

Q:你们的2D MEMS CIS探针卡能不能匹配我司产线上已有的探针台,会不会出现探针偏移卡针的问题?
A:我们的CIS专属2D MEMS探针卡适配市面所有主流半自动、全自动晶圆探针台,出厂前已通过PRVXProbeWoRX3000等专业检测设备完成全针位XYZ坐标校验,配合自研高精密氮化硅导向板限位,卡针异常率低于0.1%,不会出现探针偏移卡针的问题。

 

Q2D MEMS探针卡出现探针损坏后,是否支持上门换针维修?维修后的探针卡性能参数能不能恢复到出厂标准?
A:我们可为客户提供本地化快速响应服务,同时支持驻场调试、上门维修服务,损坏探针更换采用原厂同批次MEMS探针,维修后全量检测所有电学与机械参数,所有性能100%恢复到出厂标准,提供和全新探针卡同等的质保权益。我们还可为客户提供探针卡自建维护室的全套方案指导,包含设备清单、维护教程、耗材配套等全流程支持。

 

QMEMS探针卡长期使用后氧化发黑要怎么处理?能不能直接用普通探针的擦拭方式维护?
A:严禁直接用普通探针的擦拭方式处理,也禁止直接用酒精浸泡清洗。轻微表面脏污可使用配套的防静电清针砂纸轻拭针尖去除附着物;氧化程度较深时可送回就近的售后维修中心,通过专业等离子清洗工艺完全恢复镀层完整性,避免自行操作导致MEMS探针结构变形失效。

 

Q:定制化的2D MEMS探针卡交付周期是多久?如果出现需求变更,最快能不能7天完成调整交付?
A:我司常规定制款探针卡交付周期为需求确认后14个工作日,针对客户紧急项目可开通专属绿色通道,需求确认后最快可实现加急交付,完全匹配客户急单量产节奏。您仅需提供芯片型号、测试机型号、PAD坐标、测试温区等18项基础参数,即可快速启动定制流程。

 

Q:采购2D MEMS探针卡后,官方有没有配套的校准服务?是否可以提供完整的S参数校准证书?
A:所有出货的2D MEMS探针卡均附赠1次出厂全参数校准服务,包含S参数检测、阻抗匹配校验、眼图测试、漏电流检测等全项目检测,所有产品均可免费提供官方盖章的完整校准证书,可按需选购年度上门校准服务,满足客户全链路合规溯源需求。

 

Q:闲置未使用的2D MEMS探针卡要怎么存放,才能避免MEMS结构变形、针尖氧化失效的问题?
A:闲置的2D MEMS探针卡建议放置在温度20℃~25℃、湿度低于30%RH的防静电环境中,使用原厂配套的防静电密封盒封装,禁止堆叠压放探针卡,避免MEMS探针受力变形;长期存放建议每3个月开箱检查针尖状态,完全规避针尖氧化、结构形变失效问题。